廣東省科學院半導體研究所電子束曝光系統市場調研公告
公告類型：其他采購編號： 發布時間：2023-10-25
廣州市國科招標代理有限公司（以下簡稱“采購代理機構”）受廣東省科學院半導體研究所（以下簡稱“采購人”）委托，現對“廣東省科學院半導體研究所電子束曝光系統”組織進行需求調研。為了解市場各供應商的服務情況，以及使服務和商務要求體現公平、公正的原則，現邀請有能力提供合格服務的各單位參與本項目的需求調研活動，相關事宜通知如下：
一、項目概況
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1、調研內容： |
電子束曝光系統 |
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2、調研標的內容清單及主要服務要求： |
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功能要求： 面向微波毫米波射頻器件、高端精密掩膜、AR/VR超表面鏡頭、神經探針等多種產業前沿核心芯片、部件的研發和制備，完善微納結構制樣及分析檢測功能，實現≤50nm級微納結構材料與器件的精細制樣，服務我省前沿新材料、半導體與集成電路等多個產業集群高質量發展。 電子束曝光系統設備主要功能指標包括：電子束曝光適用于6英寸、兼容4，2英寸以及碎片；最大加速電壓≥50kV；掃描頻率≥50MHz；電子束流≥10nA；束流穩定性優于±0.5%/hr；最小線寬≤50nm；套刻精度≤50nm；拼接精度≤50nm；最大寫場≥500um等?？捎糜趯崿F微納透鏡陣列、精細斜線、精細光柵、精細螺旋線、六角陣列、圓點陣等多種納米圖形的生成及制樣。 配置要求： 大面積高精度電子束曝光系統主機 *1套、無拼接長尺寸圖形加工功能 *1套、無拼接周期圖形加工功能 *1套、旋轉傾斜模塊*1套、自動高度傳感器 *1套、20bit升級 *1套、自動化多樣品加工軟件包 *1套、基于算法的模式生成軟件功能*1套、適用于多樣品的樣品架*1套、3寸晶圓樣品架 *1套、4寸晶圓樣品架 *1套、6寸晶圓樣品架 *1套、8寸晶圓樣品架 *1套、曝光軟件離線授權*2套、不間斷穩壓電源 *1套 |
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二、調研方式
有意向參與的單位可以向采購代理機構提供參數指標、設計方案、相關產業發展情況、市場供給情況、同類服務項目歷史成交信息及其他需求相關情況意見或建議（須參考附件一：政府采購項目采購需求格式），請在本公告發出之日起的5個工作日內，以郵件或郵寄形式（材料加蓋公章，并提供加蓋公章的營業執照、注明聯系人、聯系電話）發送至采購代理機構郵箱：gzgk@gzgkbidding.com，采用郵寄形式遞交的單位請郵寄至：廣州市先烈中路100號科學院大院9號樓東座2樓 鐘先生020-38364802。采購人將根據調研意見情況，結合自身采購需求，形成采購文件。
三、需求調研截止日期、時間及公布媒體
1、遞交截止日期和時間：2023年11月2日 17:30（北京時間，以采購代理機構收到時間為準）。
2、本公告信息在廣州市國科招標代理有限公司網（www.fllashbar.com）上公布。
四、單位聯系方式
采購代理機構：廣州市國科招標代理有限公司
項目聯系人：鐘先生、蘇先生
聯系電話：020-38364802、020-87687651
傳真號碼：020-87685201
電子郵箱：gzgk@gzgkbidding.com
聯系地址：廣州市先烈中路100號科學院大院9號樓東座2樓
郵政編碼：510070
網址：www.fllashbar.com
附件一：政府采購項目采購需求格式
廣州市國科招標代理有限公司
2023年10月25日
附件下載: 附件一：政府采購項目采購需求調查
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